Le débitmètre massique de gaz miniature xr - F001 est spécialement conçu pour la mesure et le contrôle de processus de toutes sortes de gaz à faible débit. Cette gamme de capteurs est fabriquée à l'aide de puces de détection de débit MEMS (micro Electromechanical Systems) avancées pour tous les types de gaz de nettoyage. La technologie d'emballage unique le rend disponible pour tous les types de diamètre de tuyau, à faible coût, facile à installer, ne nécessite pas de compensation de température et de pression et peut remplacer les débitmètres traditionnels de type volumétrique ou différentiel de pression.