Débitmètre de gaz de haute précision ax10fd débitmètre d'azote débitmètre massique thermique
Utilisation et caractéristiques
Le Contrôleur de Débit massique (Mass Flow Controller en abrégé MFC) est utilisé pour mesurer et contrôler avec précision le débit massique d'un gaz. Ils jouent un rôle important dans l'industrie des semi - conducteurs et des circuits intégrés, la discipline des matériaux spéciaux, l'industrie chimique, la recherche scientifique et la production dans de nombreux domaines de l'industrie, de la médecine * * * et des lampes à vide. Ses applications typiques comprennent: les équipements de processus électroniques tels que la diffusion, l'épitaxie, CVD、 Oxydation, gravure plasma, pulvérisation, implantation ionique; Et l'équipement de revêtement, la fusion de fibre optique, l'unité de microréaction, le système de distribution de gaz de mélange, la mesure capillaire, le chromatographe en phase gazeuse et d'autres instruments analytiques.
Principaux indicateurs techniques
Plage de mesure (20,30,50100200300500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Précision + 1,5% f.s
Linéaire + 0,5 ~ 1,5% f.s
Précision de répétition + 0,2% f.s
Temps de réponse 10sec caractéristiques du gaz: (1 ~ 4) sec
Différence de pression de fonctionnement 0.1 ~ 0.5mpa
Résistance à la pression 3mpa 6mpa 10mpa
Température d'environnement de travail 0 ~ 70℃
Quantité numérique RS485 Protocole Modbus
Quantité analogique DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20ma en option
Caractéristiques électriques: SLM
Alimentation DC + 15v / 24V en option, débitmètre < 50mA, Contrôleur < 200mA
Connexion électrique db15
Taux de fuite 1 × 10 sccshe
Matériel de base acier inoxydable 316L
Matériau d'étanchéité caoutchouc fluoré, caoutchouc chiné, néoprène
Raccords de circuit d'air Φ3, Φ6, Φ10, 1 / 8 ", 1 / 4", 3 / 8 "
Remarque: les débitmètres massiques et les contrôleurs de Débit massique sont généralement étalonnés à l'azote (n₂) en usine.
L'unité de Débit massique est spécifiée comme suit: SCCM (millilitre standard / minute); SLM (litre / minute standard)
Débitmètre de gaz de haute précision ax10fd débitmètre d'azote débitmètre massique thermique